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美国ACM RESEARCH 单片清洗设备

产品/服务:
品 牌: ACM RESEARCH
有效期至: 长期有效
最后更新: 2025-02-15 16:26
单价:
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公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
 美国ACM RESEARCH  单片清洗设备
主要优势
清洗药液独立控制,无交叉污染
喷嘴精确控制系统
准确的化学药液供给
较低的使用成本
优质清洗效果
可应用不同种晶圆清洗工艺
高产出
对小颗粒的管控和金属管控能力
特性和规格
多可配置8套清洗腔体
多可配置5种药液进行清洗工艺,RCA药液,氢氟酸,臭氧水,去离子水等。
可对基板片,外延片的清洗工艺

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